等离子清洗机原理是在真空状态下使电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子，和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。

　　等离子体清洗机作为一种精密干法清洗设备，应用于半导体、厚膜电路、元器件封装前、COG前工序、LED后工序、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗、塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

　　特点：

　　1. 所有关键部件全部采用进口，确保设备运行寿命和产品质量。

　　2. PLC或工控机控制，工艺参数、运行时间、工艺过程实时监视并显示运行状态包括自动模式和手动模式。

　　3. 清洗时间、基础压力、功率、流量设定可调。

　　4. 工作气体压力低、压缩空气压力低、泵热过载、反应仓泄露、反射功率过大报警。

　　5. 可根据客户工艺定制(在线式)等离子体清洗机。

　　什么是等离子体

　　等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态3种状态存在,但在一些特殊情况下可以以第四种状态存在,如太阳表面的物质和地球大气电离层中的物质。这类物质所处在的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。等离子体中存在下列物质。处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持中性状态。