等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

根据不同的等离子清洗机清洗法标准，可以分为：真空状态等离子清洗、常压状态等离子、清洗低温等离子清洗；也可以根据工作气体分为：大气等离子清洗机、氮气等离子清洗机等。

低温等离子设备其实也算是干洗法中的一种，和湿法清洗相比之下它具有工艺简单，可控，而且产品可达到一次洗干净，没有残留的目的。

而湿洗法它的最大的劣势可能就是一次性洗不干净，还会有残留物，使用等离子设备进行的干洗它的反应是需要气体的，而我们所使用的气体大多数是无毒害的，并且湿洗法很多是使用了大量的溶剂，其中也包含了很多的化学成分，对人体都是有害的，对环境也会有影响。

在使用等离子清洗机进行等离子体处理的过程中，它所包括的是两种清洗过程，一种是化学的反应，另一种是物理的反应。

其中以化学反应为主的等离子清洗机具有清洗速度非常快，性能好，选择性高，在对去除有机物，氧化物，以及做表面活化都有着相当好的功效。