随着社会经济的发展，清洗技术不断地进步与革新，从早先传统的手工清洗，发展到有机溶剂清洗，高压水射流清洗和超声波清洗。科技的飞速发展，本世纪初作为一种新型清洁处理技术—等离子清洗技术的出现，该清洗技术已逐步应用于汽车制造涂装烤漆前预处理，液晶玻璃表面清洗，电路板印刷，电镀，除油污代替化学处理等领域。

等离子清洗技术在应用过程中表现出清洗效果彻底，处理表面稳定，清洗难度大的部位得到有效清洁等特点。等离子清洗机的工作原理，主要依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。

就反应机理来看, 等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物理被吸附在固体表面;吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

等离子体与材料表面产生的反应主要有两种：一种是靠等离子做物理反应,另一种是靠自由基来做化学反应。

等离子清洗与材料表面物理反应机理

等离子体与材料表面产生的物理反应主要是利用离子作纯物理的撞击，把材料表面的原子或附着材料表面的离子打掉，由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长，有能量的积累，因而在物理撞击时，离子的能量越高，越容易产生撞击，所以若要以物理反应为主时，就必须控制较低的压力下来进行反应，这样清洗效果较好。

等离子体与材料表面产生的化学反应主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，在化学反应里常用的气体有氧气、氢气、甲烷等，这些气体在电浆内反应成高活性的自由基，自由基的作用表现在化学反应过程中能量传递的“活化”作用，处于激发状态的自由基具有较高的能量，易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基，新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态，很可能发生分解反应，在变成较小分子同时生成新的自由基，这种反应过程还可能继续进行下去，最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。

在这些情况下，会释放出大量的结合能，这种能量成为引发新的表面反应推动力，从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。

等离子清洗技术的特点及优势

等离子清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，对金属、半导体和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好的清洁处理，并可实现整体和布局以及复杂结构的清洗。对处理物几何形状无限制。

特别是对物体表面形状复杂、精密而又很难清洗的零部件，如精密零部件表面的空穴、凹槽、狭缝、微孔等表面形状均能得到比较好的清洁处理。

等离子清洗属于固气干式清洁技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体介质清洗对被清洗物带来的二次污染。

等离子清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。