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常压等离子清洗机有哪些技术?

发表时间:2021-04-09 18:41:03    浏览次数:816

常压等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。常压等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。


1、电晕处理技术


电晕处理是一种使用高电压的物理工艺,主要用于薄膜处理。电晕预处理的缺点是,表面活化能力相对较低,而且处理之后的表面效果有时不够均匀。薄膜的反面也会被处理,有时这是工艺要求需要避免的。而且,经由电晕处理得到的表面张力无法维持长时间的稳定性,经过处理的产品往往只能存放有限的时间。


2、真空等离子技术


这些等离子体在密闭的真空中产生(10 -3到10–9 bar)。与常压条件下相比,每个单位体积中的微粒数较少,这样就增加了粒子自由程长度,并相对减少了碰撞过程。因此,等离子体能量削弱的倾向减弱,可在空间内更广泛地传播。要制造真空腔体,需要使用功能强大的气泵。真空等离子技术不具备在线联动功能。


3、高压等离子技术


高压等离子体由特殊的气体放电管产生。这种等离子体对于表面处理来说并不重要。


常压等离之处理技术:常压等离子是在大气压条件下产生的。常压等离子处理技术的成本低、性能好,因而作为真空等离子和电晕工艺的工艺替代和工艺提升,获得了广泛的应用。常压等离子技术的一大优势,在于其在线集成能力。作为一项工艺准则,这种技术能够顺利集成到现有的生产系统中。