工业量产型真空等离子清洗机连续运行的时间常常会在八个小时以上，在这种情况下，真空等离子清洗机的真空反应腔室内的所有部件，包括反应腔本体、电极板、托架以及附件等表面温度比较高，如果没有相关配套的冷却循环系统，取放产品或材料不带隔热手套容易被烫伤;同时处理环境温度过高，对于一些不耐温的产品或材料，就会引发物理形变、表面变色或烧焦等现象，甚至影响等离子处理效果。那么真空等离子清洗机处理产品的散热问题如何解决呢?这可是行业的一大痛点，今天我们和大家共同探讨一下。

　　一、真空等离子清洗机处理产品或材料的反应机制

　　真空等离子清洗机处理产品是在低压反应腔室里面进行的，基本操作流程把需要处理的物件放在托架或者是电极上面，关上反应腔体室的门;然后抽真空至设定的背底真空值，通入相应的工艺气体并维持真空度在20-100Pa范围;接下来启动电源形成等离子体与产品或材料进行物理或化学反应，包括等离子清洗、等离子活化、等离子刻蚀和等离子聚合等;等整个反应完成后，通入压缩空气或氮气，进行破空，取出物件。

　　二、真空等离子清洗机的放电原理和热的形成

　　1. 从真空等离子清洗机的反应机制来看，等离子放电的环境是在一个密闭的腔室里面，而且要维持一定的真空度，这是关键!气体在低气压状态下，分子间的距离会比较大，相互之间的作用力就比较脆弱;当有电场、磁场等外来能量加速种子电子去碰撞气体分子时，等离子体就形成了。

　　2. 等离子体是由电子、离子、自由基、激发态分子和原子、基态分子和光子等组成，表面上看呈电中性，其实内部具有很强的电特性、化学特性和热效应。

　　3. 真空等离子清洗机产生的等离子体属于非平衡等离子体，气体温度远远低于电子温度，而且电子质量小到可以忽略不计;即便如此，电子温度也是上万度，这样的话，在等离子产生和灭失的过程中，通过碰撞、辐射和接合等就会形成大量的热，很少的一部分被真空泵抽走，大部分还是留在真空反应腔室内。

　　三、真空常压等离子清洗机处理产品的的散热方式和改善措施

　　我们都知道，散热的方式大致有四种：辐射、传导、对流、蒸发。对于真空等离子清洗机的反应腔本体、电极板、托架以及附件的散热，主要是靠传导散热和辐射散热，少量的对流散热。

　　1. 真空等离子清洗机的反应腔室本体一般都是铝或不锈钢的材质，电极板基本上采用铝合金，这两部分在等离子体处理产品的时候吸收了大量的热，不加任何配套设施的情况下，就会以传导的方式和热射线的形式散发给周围温度较低的物体，例如机台紧固件、外壳和低温空气中。

　　改善措施：给电极和反应腔室增加冷却系统，例如电极采取蛇形管贴附或者中通冰水的方式，可以大大改善散热效果。

　　2. 真空状态下气体往往以扩散方式进行，很难形成对流;真空等离子清洗机腔室内的热量，由真空泵带走的也是比较有限。

　　改善措施：加大进气量或提高抽速，但要考虑放电的真空度和等离子处理效果。

　　其他方面，等离子发生器的选型、功率大小的设定、真空腔室大小和电极结构的设计等，对于散热问题的改善也是有帮助的。