真空速度是决定真空等离子清洗机的工作效率的重要因素之一。真空速度的快速速度主要取决于真空泵。当所需处理产品的尺寸较大时，须使用大腔体(80L以上)的真空常压等离子表面处理机时，如果只使用真空泵，则真空速度会相对慢，真空所需的时间会很长。因此，我们通常会配备真空泵组来提高抽真空的速度。大腔体真空常压等离子表面处理机。今天，我们将介绍常压等离子表面处理机上使用的几种真空泵组以及选择真空泵组时的方法。

真空泵组将两台或两台以上的真空泵组合在一起，形成串联结构，可以大大加快真空抽真空的速度。真空等离子清洗机中使用的真空泵组一般分为三类。一种是旋式真空泵+罗茨泵;一种是干式真空泵+罗茨泵;另一种是机械泵和分子泵。

1.旋式真空泵+罗茨泵

旋式真空泵和罗茨泵组成的泵组也可以称为油泵组。该泵组是我们真空常压等离子表面处理机中常见的泵组。它由旋式真空泵作为底泵，并由罗茨泵作为次级泵组成。这种泵组通常用于对清洁度的要求不高且腔体较大的真空常压等离子表面处理机。旋式真空泵和罗茨泵作为真空常压等离子表面处理机中常见的泵组，具有许多优点：首先，它可以大大增加抽速并减少抽真空的时间;其次，结构更简单，维护方便;第三，价格相对较高，具有价格优势。

2.干螺杆真空泵+罗茨泵

干式螺杆真空泵和罗茨泵组合成干式泵组。该泵组是将干式螺杆真空泵作为底泵，罗茨泵作为次级泵组合的泵组。由于它们都是由干式真空泵组成的，因此不会有油污染，清洁度高于油泵组。干式泵组通常用于生物医学领域，半导体领域和航空航天领域等清洁度要求较高的行业。

作为性能优越的泵组，干式泵组具有许多优点：一，清洁度高，避免油污染;二，抽真空速度快，提高工作效率;三，工作时性能稳定，声音低;四，对工作环境的要求低，可以应对各种恶劣的工作环境。

3.机械泵+分子泵

机械泵和分子泵组成了特殊的泵组-分子泵组。使用分子泵组可以形成清洁的超高真空环境，因此分子泵组通常使用在对真空环境要求高的设备，例如镀膜机和刻蚀机。分子泵组如此强大，其优点是什么?它的优势是什么?首先，分子泵组非常快，抽速非常快。其次，分子泵组不使用石油，不会产生油污染。第三，维护简单。