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真空式等离子表面清洗机
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中型真空等离子清洗机
产品简介
清洗介质为气体，主要有：氮气（N2）,氩气(Ar),氢气（H2）,氟化氮（NF3）,四氟化碳（CF4）,压缩空气等···；使用成本低，环保无污染，清洗过程只需几分钟完成，具有高效的特点：
产品详情
1、中型真空等离子清洗机优点
清洗介质为气体，主要有：氮气（N2）,氩气(Ar),氢气（H2）,氟化氮（NF3）,四氟化碳（CF4）,压缩空气等···；使用成本低，环保无污染，清洗过程只需几分钟完成，具有高效的特点。
2、产品技术参数
型号 | HZ-30L | HZ-60L | HZ-80L | |||
外形尺寸 | 800*600*1800 MM | 800*600*1800 MM | 650*520*500 | |||
腔体容量 | 30L | 5L | 10L | |||
腔体尺寸 | 300*300*350 MM | 350*450*400 MM | 400*450*450 MM | |||
腔体材质 | 316 不锈钢 | |||||
等离子发生器 | 13.56MHZ匹配一体 0-500W可调 | 13.56MHZ匹配一体 0-500W可调 | 13.56MHZ匹配一体 0-600W可调 | |||
过程控制 | 全自动控制，手动PLC人机界面 | |||||
气路控制 | 高精密浮子流量计（可控两路气体） | |||||
真空系统 | BSV30(10L/S) | BSV40(13L/S) | BSV60(20L/S) | |||
压力控制 | PID闭环自动稳压控制，压力传感，压力检测 | |||||
真空度 | 10-30Pa | |||||
清洗时间 | 1-6000秒可调 | |||||
腔体工作温度 | 小于35℃ | |||||
供电电压 | 380V AC | |||||
工作电流 | 整机不大于10A （不含真空泵） | |||||
电极层数 | 3层 | 5层 | 5层 | |||
说明：腔体尺寸可定制，参数可根据客户要求制定
3、产品价格
3000元起