中型真空等离子清洗机
清洗介质为气体，主要有：氮气（N2），氩气(Ar)，氢气（H2），氟化氮（NF3），四氟化碳（CF4），压缩空气等。使用成本低，环保无污染，清洗过程只需几分钟完成，具有高效的特点。
- 功率：
600W
- 重量：
0
- 用途：
表面活化，表面微清洗，改善表面附着力，刻蚀，去胶渣毛刺
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中型真空等离子清洗机
清洗介质为气体，主要有：氮气（N2），氩气(Ar)，氢气（H2），氟化氮（NF3），四氟化碳（CF4），压缩空气等。使用成本低，环保无污染，清洗过程只需几分钟完成，具有高效的特点。
- 功率：
600W
- 重量：
0
- 用途：
表面活化，表面微清洗，改善表面附着力，刻蚀，去胶渣毛刺
产品介绍
中型真空等离子清洗机优点
清洗介质为气体，主要有：氮气（N2），氩气(Ar)，氢气（H2），氟化氮（NF3），四氟化碳（CF4），压缩空气等。使用成本低，环保无污染，清洗过程只需几分钟完成，具有高效的特点。
产品价格
3000元起
技术参数
| 型号 | HZ-30L | HZ-60L | HZ-80L |
| 外形尺寸 | 800*600*1800 MM | 800*600*1800 MM | 650*520*500 MM |
| 腔体容量 | 30L | 5L | 10L |
| 腔体尺寸 | 300*300*350 MM | 350*450*400 MM | 400*450*450 MM |
| 腔体材质 | 316 不锈钢 | 316 不锈钢 | 316 不锈钢 |
| 等离子发生器 | 13.56MHZ匹配一体 0-500W可调 | 13.56MHZ匹配一体 0-500W可调 | 13.56MHZ匹配一体 0-600W可调 |
| 过程控制 | 全自动控制，手动PLC人机界面 | ||
| 气路控制 | 高精密浮子流量计（可控两路气体） | ||
| 真空系统 | BSV30(10L/S) | BSV40(13L/S) | BSV60(20L/S) |
| 压力控制 | PID闭环自动稳压控制，压力传感，压力检测 | ||
| 真空度 | 10-30Pa | ||
| 清洗时间 | 1-6000秒可调 | ||
| 腔体工作温度 | 小于35℃ | ||
| 供电电压 | 380V AC | ||
| 工作电流 | 整机不大于10A （不含真空泵） | ||
| 电极层数 | 3层 | 5层 | 5层 |
说明：腔体尺寸可定制，参数可根据客户要求制定